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    高品質金屬氧化物薄膜成長

    效果

    高品質金屬氧化物薄膜成長(圖1)

    利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質的金屬氧化物薄膜。

    利用純臭氧作為氧氣源的優越性得到國際認知。

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    高品質金屬氧化物薄膜成長

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