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熱門關鍵詞： In-situ洗凈碳素纖維改質薄膜上常溫成膜洗凈/去除(灰化) 半導體襯底成膜

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洗凈/去除(灰化)方案

半導體制造工程（高離子注入）的光刻膠灰化應用案例

洗凈/去除(灰化)方案(圖1) 洗凈/去除(灰化)方案(圖2) 洗凈/去除(灰化)方案(圖3)

效果

室溫下高速度灰化

可以灰化各種半導體光刻膠

在高離子注入后灰化時不產生光刻膠爆裂

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解決方案

高品質金屬氧化物薄膜成長方案

碳素纖維的改質方案

洗凈/去除(灰化)方案

半導體襯底成膜方案

In-situ洗凈方案

薄膜上常溫成膜方案

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