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熱門關鍵詞： In-situ洗凈碳素纖維改質薄膜上常溫成膜洗凈/去除(灰化) 半導體襯底成膜

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薄膜上常溫成膜方案

高密封性應用案例

薄膜上常溫成膜方案(圖1)

效果

通過OER工藝常溫生成OH活性基，沒有熱或物理損傷

不需要真空排氣，大幅度縮短成膜時間

利用專用噴頭均勻噴射氣體，上游和下游之間沒有分布差異

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解決方案

高品質金屬氧化物薄膜成長方案

碳素纖維的改質方案

洗凈/去除(灰化)方案

半導體襯底成膜方案

In-situ洗凈方案

薄膜上常溫成膜方案

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