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高品質金屬氧化物薄膜成長方案

MBE(分子束外延)用氧氣源適用案例

高品質金屬氧化物薄膜成長方案(圖1)

效果

利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質的金屬氧化物薄膜。

利用純臭氧作為氧氣源的優越性得到國際認知。

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高品質金屬氧化物薄膜成長

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