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北京同林超純臭氧設(shè)備服務(wù)商
超純臭氧選購服務(wù)熱線：010-82461830
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熱門關(guān)鍵詞： In-situ洗凈 碳素纖維改質(zhì) 薄膜上常溫成膜 洗凈/去除(灰化) 半導(dǎo)體襯底成膜
In-situ洗凈方案
EUV光刻裝置后工程（光刻處）的In-situ洗凈應(yīng)用例
效果
可以In-situ即時(shí)清洗低壓和高反應(yīng)性電極部（低濃度臭氧從未實(shí)現(xiàn)的顯著特征）
在沒有生成氧化物的同時(shí)去除污染（碳污染），保持光束反射率
100%濃度純臭氧不含NOx和H?O，不會(huì)對(duì)Mask,Mirror造成損傷
超真空環(huán)境下也能達(dá)到100%濃度純臭氧，可以充分分解Out Gas
全國服務(wù)熱線
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明電舎 MEIDENSHA半導(dǎo)體設(shè)備制造商!
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