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熱門關鍵詞： In-situ洗凈碳素纖維改質薄膜上常溫成膜洗凈/去除(灰化) 半導體襯底成膜

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半導體襯底成膜方案

半導體襯底成膜方案

深溝槽襯底應用案例（縱橫比1:15）

半導體襯底成膜方案(圖1) 半導體襯底成膜方案(圖2)

效果

在溝槽底部，從側壁到底部可以基本形成同一SiO2膜厚

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解決方案

高品質金屬氧化物薄膜成長方案

碳素纖維的改質方案

洗凈/去除(灰化)方案

半導體襯底成膜方案

In-situ洗凈方案

薄膜上常溫成膜方案

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